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Entegris 推出全面去除金属离子的 Purasol™ 溶剂纯化器
录入时间:2017/3/23 17:41:00

Entegris 推出全面去除金属离子的 Purasol™ 溶剂纯化器

超净纯化技术去除先进半导体光刻工艺所用溶剂中的金属
 

BILLERICA, Massachusetts – 2017 2 28 Entegris Inc. (NASDAQ:ENTG) 是为微电子行业提供特殊化学品和先进材料处理解决方案的领导者,今日推出了 Purasol™,这是一款首创的溶剂纯化器,可去除超净化学品制造工艺所用有机溶剂中发现的各种金属微污染物。

这款新型多功能纯化器采用独特的定制薄膜技术,可以有效地去除各种超纯、极性和非极性溶剂中的溶解性和胶状金属污染物。

Entegris 微污染控制部门高级副总裁 Clint Haris 表示:“随着对金属污染物的敏感度不断增加,光化学品制造商正在寻找新的技术解决方案来处理各种各样会导致产品瑕疵的污染物,这些污染物更难控制,且控制成本更高。在我们持续努力开发针对这些挑战的超净解决方案的过程中,我们研发了一种新型薄膜技术,能有效去除这些关键污染物。”

Purasol 纯化器与大部分溶剂兼容,包括环己酮等难以去除的酮类,并且提供出色的洁净度,具备极为关键的金属去除能力,对污染物的去除性能达到万亿分之一或更优的等级。现有两种产品选择,针对不同的溶剂极性(极性和非极性),去除已知会在光刻应用中导致缺陷的金属。


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